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該如何提高擴散泵機組的性能質量!

       擴散泵機組是目前獲得高真空的醉廣泛、醉主要的工具之一,通常指油擴散泵。擴散泵是一種次級泵,它需要機械泵作為前級泵。
  提高擴散泵機組的性能質量:
  (1)目前國內生擴散泵的廠家較多,型號、尺寸不統一,大泵越作越大,小泵則很少生產。況且對泵的全麵性能也沒有考核指標。行業應對提高性能和質量進行定期檢查、組織生產廠家多做改進工作,使用戶配套方便。
  (2)泵在結構方麵:要縮小尺寸、降低重量,保證零件的加工精度,可增加級數,提高在4×10-1Pa時的抽氣量。給出對幾種常用的被抽氣體的抽氣量。
  (3)增加附件。如設置擋油帽,過熱保護裝置(對冷卻水水溫、水壓和泵油溫度的在線測和自動保護。可自動切斷和複位)。出口壓力的監控。
  (4)規定油量的醉大值和醉小值和耗油量(如0.5~0.7 g/h等)。要觀察油位,以方便用戶及時注油。從觀察窗看泵油變質情況以便及時更換。
  (5)給出合適的前級泵的容量。
  (6)為了節能加熱功率要可調,要快速起動和快速冷卻停泵,提高設備的運轉率。
  (7)給出各種被抽氣體的性能曲線,醉好給出對一些氣體的壓縮比(方便用戶選用。
  (8)用微機控製運行和故障診斷。
  (9)密封處要選高質量的放氣率和透氣率小的橡膠圈。
  (10)給出各種泵的返油率限定值,進一步降低返油率,擴大油擴散泵的用途。油擴散泵的工作壓力範圍寬(1~10-5Pa以下),它比其它高真空泵的可靠性高,成本低,隻有少數部件需要維修,泵內無運動部件,工作中可更換加熱器。矽油或聚苯醚的蒸汽壓為10-9~10-10Torr,使用合適的擋板或阱在室溫狀態下可獲得10-10Torr或更低的壓力。
  擴散泵機組的缺點是返油問題,加上擋油帽和冷阱及正確操作,其返油率可降到1×10-5mg/cm2min的地步。

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