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這就是渦輪分子泵優異的性能!

       渦輪分子泵是利用高速旋轉的動葉輪將動量傳給氣體分子,使氣體產生定向流動而抽氣的真空泵。優點是啟動快,能抗各種射線的照射,耐大氣衝擊,無氣體存儲和解吸效應,無油蒸氣汙染或汙染很少,能獲得清潔的超高真空。渦輪分子泵廣泛用於高能加速器、可控熱核反應裝置、重粒子加速器以及真空鍍膜等需要獲得高真空度製造工藝中。
  主要有立式和臥式兩種。
  動葉輪外緣的線速度高達氣體分子熱運動的速度(一般為150~400米/秒)。單個葉輪的壓縮比很小,渦輪分子泵要由十多個動葉輪和靜葉輪組成。動葉輪和靜葉輪交替排列。動、靜葉輪幾何尺寸基本相同,但葉片傾斜角相反。右圖為20個動葉輪組成的整體式轉子。每兩個動葉輪之間裝一個靜葉輪。靜葉輪外緣用環固定並使動、靜葉輪間保持1毫米左右的間隙,動葉輪可在靜葉輪間自由旋轉。
  渦輪分子泵的性能;
  泵的排氣壓力與進氣壓力之比稱為壓縮比。壓縮比除與泵的級數和轉速有關外,還與氣體種類有關。分子量大的氣體有高的壓縮比。對氮(或空氣)的壓縮比為108~109;對氫為102~104;對分子量大的氣體如油蒸氣則大於1010。
  泵的極限壓力為10-9Pa,工作壓力範圍為10-1~10-8Pa,抽氣速率為幾十到幾千升每秒(1L=10-3m3)。
  渦輪分子泵必須在分子流狀態(氣體分子的平均自由程遠大於導管截麵醉大尺寸的流態)下工作才能顯示出它的優越性,因此要求配有工作壓力為1~10-2Pa的前級真空泵。
  分子泵本身由轉速為10000~60000轉/分的中頻電動機直聯驅動。

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