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渦輪分子泵的兩種分類你可知?
渦輪分子泵
是利用高速旋轉的動葉輪將動量傳給氣體分子,使氣體產生定向流動而抽氣的真空泵。優點是啟動快,能抗各種射線的照射,耐大氣衝擊,無氣體存儲和解吸效應,無油蒸氣汙染或汙染很少,能獲得清潔的超高真空。渦輪分子泵廣泛用於高能加速器、可控熱核反應裝置、重粒子加速器以及真空鍍膜等需要獲得高真空度製造工藝中。
是由動葉輪與靜葉輪組合而成,比擴散泵節能、無油蒸汽汙染,同時具有分子流時抽速大、壓縮比高的特點,是目前國內大抽速的分子泵,動葉輪采用變截麵加工,其強度增加重量減少,使分子泵性能更可靠、穩定。
渦輪分子泵
的優點是啟動快,能抗各種射線的照射,耐大氣衝擊,無氣體存儲和解吸效應,無油蒸氣汙染或汙染很少,能獲得清潔的超高真空。渦輪分子泵廣泛用於高能加速器、可控熱核反應裝置、重粒子加速器以及真空鍍膜等需要獲得高真空度製造工藝中。
主要有立式和臥式兩種。
動葉輪外緣的線速度高達氣體分子熱運動的速度(一般為150~400米/秒)。單個葉輪的壓縮比很小,渦輪分子泵要由十多個動葉輪和靜葉輪組成。動葉輪和靜葉輪交替排列。動、靜葉輪幾何尺寸基本相同,但葉片傾斜角相反。右圖為20個動葉輪組成的整體式轉子。每兩個動葉輪之間裝一個靜葉輪。靜葉輪外緣用環固定並使動、靜葉輪間保持1毫米左右的間隙,動葉輪可在靜葉輪間自由旋轉。
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