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如此好用的渦輪分子泵,你還不心動嗎?
渦輪分子泵
是利用高速旋轉的動葉輪將動量傳給氣體分子,使氣體產生定向流動而抽氣的真空泵。優點是啟動快,能抗各種射線的照射,耐大氣衝擊,無氣體存儲和解吸效應,無油蒸氣汙染或汙染很少,能獲得清潔的超高真空。渦輪分子泵廣泛用於高能加速器、可控熱核反應裝置、重粒子加速器以及真空鍍膜等需要獲得高真空度製造工藝中。
是由動葉輪與靜葉輪組合而成,比擴散泵節能、無油蒸汽汙染,同時具有分子流時抽速大、壓縮比高的特點,是目前國內大抽速的分子泵,動葉輪采用變截麵加工,其強度增加重量減少,使分子泵性能更可靠、穩定。
渦輪分子泵的優點是啟動快,能抗各種射線的照射,耐大氣衝擊,無氣體存儲和解吸效應,無油蒸氣汙染或汙染很少,能獲得清潔的超高真空。渦輪分子泵廣泛用於高能加速器、可控熱核反應裝置、重粒子加速器以及真空鍍膜等需要獲得高真空度製造工藝中。
渦輪分子泵
的性能:
泵的排氣壓力與進氣壓力之比稱為壓縮比。壓縮比除與泵的級數和轉速有關外,還與氣體種類有關。分子量大的氣體有高的壓縮比。對氮(或空氣)的壓縮比為108~109;對氫為102~104;對分子量大的氣體如油蒸氣則大於1010。
泵的極限壓力為10-9Pa,工作壓力範圍為10-1~10-8Pa,抽氣速率為幾十到幾千升每秒(1L=10-3m3)。
渦輪分子泵必須在分子流狀態(氣體分子的平均自由程遠大於導管截麵大尺寸的流態)下工作才能顯示出它的優越性,因此要求配有工作壓力為1~10-2Pa的前級真空泵。
分子泵本身由轉速為10000~60000轉/分的中頻電動機直聯驅動。
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