擴散泵機組生產廠家 JKT、JK係列油擴散真空泵機組是用來獲得高真空(10-2—10-5Pa)的主要設備。它以油擴散泵為主泵和閥門、水冷擋板、管道、機械真空泵(前級泵)等組成高真空抽氣係統,可獲得(10-2—10-4Pa)的工作真空度。
擴散泵機組的主泵是一種高真空泵,其工作介質為擴散泵油,其抽氣過程是被抽氣體擴散到油蒸氣射流中而被攜帶到泵出口在由羅茨泵和機械泵帶走的過程,是一種抽速可以做得很高真空泵。
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